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微小流量计微小液体涡轮流量计流量计是一种采用涡轮原理设计专门测量微小流量的专用流量计，它具有高的精度，特别是在高温和高压的条件下也是如此。由于灵巧的结构设计，在工作时不会形成沉淀，所以仪表的工作完成是“洁净"的。因此，即使是在半导体集成电路和芯片的生产流程中使用的刻蚀剂，具有的耐腐蚀性，并如有一个极微小的颗粒落下，也会使芯片成为废品，GICAR产品都满足。